贝尔智慧电子科技有限公司在2024年10月申请了一项名为“一种用于氮化硅刻蚀芯片的刻蚀系统”的专利，于2025年1月31日被金融界报道。专利包含刻蚀仓、电极、夹持式晶圆固定器等部件，具有多种功能，同时还介绍了贝尔智慧电子科技有限公司的基本情况，如成立时间、地点、注册资本、实缴资本以及对外投资、招投标、专利和行政许可等情况。
金融界于2025年1月31日发布消息称，根据国家知识产权局的信息，贝尔智慧电子科技有限公司申请了一项特别的专利，该专利名为“一种用于氮化硅刻蚀芯片的刻蚀系统”，其公开号为CN 119381297 A，申请日期是2024年10月。
从专利的摘要来看，这个用于氮化硅刻蚀芯片的刻蚀系统可不简单。它包括刻蚀仓、电极以及夹持式晶圆固定器等部件。刻蚀仓的一端设置有进气口，另一端则设有排气口。电极位于刻蚀仓内部，而且电极的多个侧面均为斜面，这种设计很独特。夹持式晶圆固定器设置在侧面上，并且在其上面间隔地设置了多个转动位。除此之外，这个系统还有不少附属单元，像是设在夹持式晶圆固定器上的气流式吹扫单元、与转动位连接且设在夹持式晶圆固定器上的气动单元，以及和刻蚀仓相连接的真空单元。这一系统采用环绕式部署方式，这种方式可以提高晶圆的放置密度，并且能够缩小电极的尺寸，从而有效地提升电场分布的均匀度。同时，它利用转动的方式，能让刻蚀产物以更快的速度脱离沟槽，进而提高沟槽的尺寸精度和加工精度。
再看看天眼查的资料吧。贝尔智慧电子科技有限公司于2004年在石家庄市成立，主要从事批发业。这家公司的注册资本为5000万人民币，不过实缴资本是1006万人民币。经过天眼查大数据的分析，我们可以发现，该公司对外投资了1家企业，参与招投标项目多达62次，拥有9条专利信息，除此之外，企业还具备2个行政许可。
本文总结了贝尔智慧电子科技有限公司的新专利申请情况，包括专利的名称、公开号、申请日期以及专利内容，同时也介绍了该公司的基本信息，如成立信息、资本情况、对外投资、招投标、专利和行政许可等，让读者对贝尔智慧电子科技有限公司在氮化硅刻蚀芯片刻蚀系统方面的研发成果以及公司整体情况有一个初步的了解。
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