北京北方华创微电子装备有限公司在2024年2月申请,于2025年2月28日被国家知识产权局授权公告一项名为“半导体清洗设备”的专利相关信息,同时介绍了该公司的基本情况,包括天眼查所显示的成立时间、注册资本、对外投资、招投标项目、知识产权和行政许可等情况。
金融界于2025年2月28日发布消息称,依据国家知识产权局的信息,北京北方华创微电子装备有限公司成功获取了一项名为“半导体清洗设备”的专利,其授权公告号为CN 222530377 U,而该专利的申请日期是2024年2月。
从专利的摘要能够了解到,这种新型的半导体清洗设备包含了多个重要部件。其中有工艺槽,还有扣设在工艺槽之上的干燥槽。另外,设备设置了第一支撑结构,这个结构能够在工艺槽内移动。还有第二支撑结构,它被设置在干燥槽内,并且这个第二支撑结构包含至少一对相对设置的支撑组件,它具备两种状态,即支撑状态以及避让状态。当第二支撑结构处于支撑状态的时候,相对设置的两个支撑组件会支撑在晶圆脱离液体界面的部分上,这样一来,位于部分脱离液体界面位置的晶圆就能够和第一支撑结构以及液体界面分离开来。这种半导体清洗设备通过第二支撑结构的支撑组件对晶圆脱离液体界面部分的支撑来实现晶圆的固定,从而使得第一支撑结构能够与处于液体界面下方的晶圆部分脱离,如此,晶圆剩下的部分在后续脱离液体界面的过程中就不存在与第一支撑结构的接触点了。
根据天眼查的资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司成立于2001年,公司位于北京市,其主要从事电气机械和器材制造业。该企业的注册资本为114153.708311万人民币,并且实缴资本也是114153.708311万人民币。经过天眼查大数据的分析,这家公司对外投资了8家企业,参与招投标项目多达1008次。在知识产权方面,该企业拥有商标信息38条,专利信息5000条,除此之外,企业还拥有行政许可339个。
本文总结了北京北方华创微电子装备有限公司获得半导体清洗设备专利的情况,包括专利的相关技术要点,同时介绍了该公司的基本概况,如成立时间、注册资本、经营业务范围以及在投资、招投标、知识产权和行政许可等方面的情况,让读者对该公司及其新专利有一个较为全面的了解。
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